等离子体法是20世纪70年代发展起来的同时技术，被上认为是有前途的新一代烟气脱硫技术。它主要是利用电子使烟气中的SO2，NOX，H2O，O2 等分子被， 电离甚至裂解，产生大量的离子及自由基等活性粒子， 由于强氧化性使SO， NOX 被氧化，在注入氨的情况下，生成硫酸铵和硝酸铵化肥。根据电子的来源，可分为电子束照射法和脉冲电晕等离子法。

电子束照射法是靠电子加速器产生电子，使烟气中的氧和水蒸气等激发转化成氧化的自由基，与烟气中的SOX, NOX 反应生成硫酸和硝酸，再和加入的氨反应产生硫酸铵和硝酸铵化肥。可以同时地脱硫脱销，但是投资和运行费用非常高，技术含量高。

脉冲电晕等离子法是靠脉冲高压电源在普通反应器中形成等离子体，从而产生电子，许多人员对其进行大量实验工作。目前，该技术已进入大规模工业试验阶段，其优点，设备简单、操作简便、投资仅是电子束照射法的60% ,因此,成为上干法脱硫脱硝的前沿。

烟气脱硫脱硝技术是应用于多氮氧化物、硫氧化物生成化工工业的一项锅炉烟气净化技术。氮氧化物、硫氧化物是空气污染的主要来源之一。故应用此项技术对环境空气净化益处颇多。目前已知的烟气脱硫脱硝技术有PAFP、ACFP、软锰矿法、电子束氨法、脉冲电晕法、石膏湿法、催化氧化法、微生物降解法等技术。